“重大科学仪器设备开发”重点专项2023年度项目.中国科学技术大学.docx

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1、“重大科学仪器设备开发”重点专项2023年度工程申报指南、指南编制专家名单、形式审查条件要求I、“重大科学仪器设备开发”重点专项2023年度申报指南科学仪器设备是科学争论和技术创的基石，是经济社会发展和国防安全的重要保障。为切实提升我国科学仪器设备的自主创力气和装备水平，促进产业升级进展，支撑创驱动进展战略的实施，经国家科技打算战略询问与综合评审特邀委员会、国家科技打算治理部际联席会审议“，重大科学仪器设备开发重点专项作为2023年度启动的专项之一，并正式进入实施阶段。一、指导原则与主要目标本专项坚持问题导向、需求导向原则，紧扣我国科技创、经济社会进展对科学仪器设备的重大需求，充分考虑我国现有

2、基础和力气，在继承和进展“”期间国家重大科学仪器设备开发专项成果的根底上，坚持政府引导、企业主导，立足当前、着眼长远，整体推动、重点突破的原则，以关键核心技术和部件的自主研发为突破口，聚焦高端通用科学仪器设备和专业重大科学仪器设备的仪器开发、应用开发、工程化开发和产业化开发，带动科学仪器系统集成创，有效提升我国科学仪器设备行业整体创水平与自我装备力气。通过本专项的实施，构建仪器原理验证一关键技术研发软硬件T系统集成一应用示范T产业化”的国家科学仪器开发链条，完善产学研用融合、协同创进展的成果转化与合作模式，激发行业、企业活力和制造力。强化技术创和产品牢靠性、稳定性试验,引入重要用户应用示范、拓

3、展产品应用领域，大幅提升我国科学仪器行业可持续进展力气和核心竞争力。本专项依据全链条部署、一体化实施的原则，共设置了关键核心部件、高端通用科学仪器和专业重大科学仪器类任务，下设10个重点方向，本指南为重大科学仪器设备开发专项023年度指南，支持数量不超过实施方案内容的30%。二、总体要求1.专项定位本专项充分利用国家科技打算专项、基金）或其他渠道，已取得的相关检测原理、方法、技术或科研装置，开展系统集成、应用开发和工程化开发，形成具有自主学问产权“、皮实耐用和功能丰富的重大科学仪器设备产品，并效劳科学争论和经济社会进展。工程成果是以市场前景广泛的关键核心部件和重大科学仪器设备产品的开发和产业化

4、应用为目标一般的核心部件与科学仪器的原理和方法争论，商业化前景不明确的核心部件与仪器研制等工作，以及临床医疗仪器、生产设备、机械装备、平台建设等，不属于本专项的支持方向）2,申报主体结合本专项的特点和定位，如无特别说明，本指南所设工程均由有条件的企业牵头申报。鼓舞企业结合国家需求和自身进展需要,联合科研院所和高等学校的优势力气参与工程研发工作主要为企业供给所需的技术支撑1落实目标任务明确、产权和利益安排明晰的产学研用结合机制。同时，要实行有效措施，切实发挥企业在专项中的技术创决策、研发投入、工程实施组织和成果转化等方面的主体地位作用。3 .支持方式本专项每个指南方向下的工程可支持12项，实施“

5、后端资助”机制。即，结合科学仪器开发的特点，以及我国科学仪器产业进展实际，强化利益共享、风险分担机制，对企业担当的项目，实施专项经费后端资助政策。工程立项后，前半段主要由承担单位自筹经费实施，资助20%的专项经费；经中期评估确认，工程进展顺当、能够到达预期目标、科研治理和工程经费治理规范的工程，后半段再主要由专项经费赐予支持。4 .立项要求4.1 工程根本要求1）国内外需求迫切，目标仪器设备应用单位明确且具有代表性，相关原理、方法或技术已取得重要突破，能形成具有自主学问产权和市场竞争力的核心部件与科学仪器产品。2）目标核心部件与仪器设备整体设计完整、构造清楚合理，技术路线含软件开发可行，工程化

6、方案、应用开发方案可操作性强；工程质量治理和产业化筹划、企业资质和力气、学问产权和利益安排等非技术内容可行。3）拥有本领域的核心关键人才，且具有相关理论争论、设计、工程工艺、系统集成、应用争论以及产业化争论等相关方面构造合理的人员队伍。4）对核心部件类工程：原则上担当单位主营业务为核心部件生产企业，工程实施后能够获得全部自主学问产权，技术就绪度到达7级以上，并在相关仪器主要生产企业得到广泛应用，形成确定市场规模，产生直接经济效益。5）对仪器整机类工程：充分利用国家科技打算专项、基金）或其它渠道，已取得的相关检测原理、方法、技术或科研装置成果，开展系统集成、工程技术争论和应用开发，形成皮实耐用“

7、、功能丰富的重大科学仪器设备产品，并效劳科学争论和经济社会进展。依据科学仪器设备开发和应用的自身规律，每一个工程应包括仪器开发含软件开发I应用开发、工程化开发和产业化开发等类型工作。除仪器设备开发单位外，产业化单位、应用单位也应从工程设计开头，全程参与工程的组织和实施工作。工程实施三年后，目标仪器技术就绪度到达7级以上，可形成确定市场规模，产生直接经济效益。4.2 企业担当工程的根本要求(1)在中国大陆境内注册，具有较强科学仪器设备研发和产业化力气，运行治理标准，具有独立法人资格；(2)经高技术企业认定或到达同等条件；(3)工程与企业重点进展方向相符；(4)与工程参与单位具有前期合作根底；(5

8、)与工程参与单位事先签署具有法律约束力的协议，明确任务分工、国拨经费安排、成果和识产权归属及利益安排机制；(6)企业投入的自筹研发经费与国拨经费投入比例不低于1:1o投入的自筹研发经费应用于工程研发活动，而不得用于生产线、厂房等产业化力气建设。4.3工程组织要求(1)工程推举单位要加强本部门、本地区、本行业领域科学仪器设备进展的顶层设计、资源整合和扶持培育。(2)工程推举单位要组织工程牵头单位，会同产、学、研、用等各方面，乐观开展工程设计和筹划工作。在工程设计时，既要留意技术问题，也要留意工程化和产业化筹划、企业资质和力气以及学问产权和利益安排机制等非技术问题。(3)工程推举单位要催促工程担当

9、单位在工程提出时落实法人负责制、落实工程配套条件；催促工程担当单位联合国内外优势力气共同开展工程设计和实施。(4)工程推举单位在组织推举过程中要充分发挥专家的询问作用。除考虑技术可行性外，还应重点关注工程化和产业化策划、企业资质和力气以及学问产权和利益安排机制等非技术内容。在此根底上，择优向科技部推举工程。三、主要任务1 .核心关键部件开发与应用攻克源部件、探测器与传感器、分析分别与把握部件等科学仪器核心部件的关键技术，争论部件的核心关键材料以及生产工艺,形成具有自主学问产权、质量稳定牢靠的核心关键部件。共性考核指标：目标产品应通过牢靠性测试和异地测试，技术就绪度到达9级，至少应用于2种类型仪

10、器。原则上，每个工程下设任务数不超过6个，担当单位数不超过6个。源部件1.1.1 光源1高强度、高稳定空心阴极灯争论内容：研发高强度、高稳定空心阴极灯，优化空心阴极灯构造设计，争论合金阴极材料组成及制作工艺，改善空心阴极灯生产工艺，研制空心阴极灯性能测试特别装置，争论影响噪声、同心度等关键指标的因素及改善方法。开展工程化开发和产业化开发，形成工程化和产业化力气。为原子吸取光谱仪和原子荧光光谱仪等仪器供给核心部件。考核指标：稳定性指标，铜灯在30min内基线漂移v.2%,其它元素灯在5min内基线漂移6000mA.h,易熔、易挥发元素灯N4000mA.h；改善空心阴极灯性能，灯噪声S0.2%T,

11、灯旋转360。的能量偏移V10%。应提出明确合理的牢靠性指标要求，工程完成时，目标产品应参照国家或行业相关标准进展测试。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年内年销量到达2万支。实施年限：不超过3年1.1.2 射频源(1)ICP射频源争论内容：开发ICP射频源，争论大功率射频自激发生、频率锁相、功率调谐和高效散热技术，开发能够有效的降低等离子体电势的全固态自激式电感耦合等离子体射频源；实质P射频源的工程化和工艺化开发，形成牢靠的产品，解决相关国产仪器对高性能射频源关键部件需求的难题。考核指标：工作频率27.12MHz,频率稳定度0.02%,功率输出0.6L6kW可调。制造专利3项，技术标准

12、3项。工程验收后三年内年销量到达100只以上。实施年限：不超过3年(2)双相射频源争论内容：开发双相射频源，争论双相射频源高精度驱动与高稳定反响、过载保护电路、关心激发信号耦合与双相射频电源数字把握技术，开发能够周密驱动线性离子阱的双相射频高压电源；实施双相射频源的工程化和工艺化开发，形成稳定牢靠的产品，有效解决相关国产仪器对高性能双相射频源关键部件的需求。考核指标：射频高压最大2kVpp,频率0.92MHz,关心信号带宽50kHz450kHz;射频高压最大10kVpp,频率1M1.2MHz,关心信号带宽IOk550kHz。制造专利3项,技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达100套。实施年

13、限：不超过3年1.1.3 型质谱离子源争论内容：争论放开式离子化技术，研制型电喷雾、介质阻挡放电、激光/气体关心喷雾和高度集成化放开式的离子源，开展离子化应用方法开发和数据库构建，实施离子源的工程化和产业化开发，满足原位实时快速分析、单细胞分析、质谱成像分析、超痕量样品分析需求，推动我国质谱离子化技术与装置的跨越式进展。考核指标：形成6种以上具有自主学问产权的型放开式质谱离子源产品，有力支撑食品安全、环境应急、药研发、现场快检、生物争论、质谱成像、公共安全等质谱检测应用。形成敞开式质谱离子源工艺化、产业化基地，实现批量生产。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达40套以上。实施

14、年限：不超过3年有关说明：每个工程形成5种以上不同的离子源产品。1.2 探测器与传感器1.2.1 光探测器(1)光电倍增管争论内容：开发侧窗型、端窗型光电倍增管，争论侧窗型、端窗型光电倍增管的构造设计优，化阴极材料及倍增极材料配方和制作工艺，争论包括激活工艺、封装工艺等在内的各环节生产工艺，探究影响光电倍增管灵敏度、暗电流、响应时间等关键性能的因素及改进方法，进展工程化和产业化开发，为器、辐射测量仪器、高能物理争论、石油测井及军用设备供给关键部件。考核指标：阳极光照灵敏度300Aln典型值；最大暗电流V50nA30分钟后；增益10。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达500支

15、。实施年限：不超过3年(2)太赫兹探测器争论内容：研制基于栅控二维电子气的型室温太赫兹探测器,突破场效应混频探测器芯片及其模块制造的关键技术，实现全国产化。建立定量化的场效应混频探测器模型和模拟仿真技术；从外延材料、天线设计、阻抗匹配到模块化集成实现场效应混频探测器的优化设计；开发纳米栅极及其低漏电率的工艺制备技术；争论二维电子气场效应阈值电压的调控技术，研制两端构造的高灵敏度太赫兹场效应混频探测器。考核指标：研制成0.1LlTHz波段内系列化的室温太赫兹场效应混频探测器芯片及其模块，满足室温下高灵敏度的太赫兹波探测需求。0.1h0.22.0.34.0.65和0.90THZ探测器芯片的等效噪声功率小于IOPW/Hz2;响应度大于2800V/W;带宽大于80GHz;响应时间小于IOonS;硅透镜和波导喇叭集成的两种探测器模块。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达100套。实施年限：不超过3年1.2.2 辐射探测器争论内容：攻克高密度快衰减无机闪耀晶体生长及阵列加工制备、PlPS探测器的高阻硅材料研制、吸取区构造设计及漏电流工艺把握等关键技术，建立辐射探测器成套的完整生产、测试工艺，形成具有自主学问产权的高性能高能量区分率、高空间分辨率、高时间区分率I高牢靠性辐射探测器系列产品，开展工稻匕和产业化争论，形成批量生产力气，为医疗诊断仪器、工