集成电路塑封油压机_SJT11823-2022.docx

ICS31.550CCSL95中华人民共和国电子行业标准SJ/T118232022集成电路塑封油压机Integratedcircuittransfermoldingpress2022T0-20发布2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布前言III1范围12规范性引用文件13术语和定义15要求6检验方法7检验规则./2 4 6 8-AX.刖三本文件按照GBrr1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体材料与设备标准化技术委员会(SACfTC203)提出并归口。本文件起草单位：铜陵富仕三佳机器有限公司、中国电子技术标准化研究院。本文件主要起草人：赵松、徐善世对血:祀加公出根、何成国、权家庆、郭优优、李小娟。Hl2规范性引用文件的引用文件，其最班版本I导则卜的的验证试验方口用技术条金技术要求:与平均无14626220GB 案GBGB/T GBTT GBZT GB/T GB"OX1 1K电工才电工986N 本集成电路封装术语:术条件'' ?：. rY Q 小一:龙电路的规范性引用而构成本文件必不可3注日期的引用文件, 修改单）适用于本3术语和定义集成电路塑封油压机1范围本文件规定了集成电路密封油压机（以下简称“压机”）的术语和定义、分类、要求、枪验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体集成电下列文件中仅该日期对应文件.GB/TGB2GBZTGBGB2824120SJ1552电子工SJ20385A2008GB/T2900.kGB/T2900.66、GB/T14113、GBTT14663界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1集成电路塑封油压机integratedcircuittransfermoldingpress以液压油为压力传递介质，用于半导体集成电路、分立器件塑料封装，具备合模、加压、加热、注筌、保压、开模、顶出功能的设冬。3.2注塑时间transfertime从变速位置到环氯树脂全部挤入模具型腔后注塑头停止的时间。注：单位秒(s).3.3固化时间curetime环氧树脂全部进入模具型腔后完全固化所需的产品工艺规定时间。注：单位秒(s).3.4合模压力clamppressure维持合模所需要的压力。注：单位吨(t).3.5注塑压力transferpressure维持注塑所需要的压力。注：单位吨(t)3.6压力阈值pressureswitch为注塑开始、注塑计时而设定的合模压力、注塑压力参考值。注：单位吨(t).3.7软合模位置softcloseposition压机活动台面在合模加压前的变速位置。注：单位卷米(mm).4分类压机按合模压力可分为：低压力(合模压力200t)、中压力(20OtV合模压力350t)和高压力(合模压力35Ot)三类。5要求5.1 基本要求5.1.1 压机的机械装配技术要求按SJ1552的规定。5.1.2 压机的电气装配技术要求按SJ20385-2008的规定。5.1.3 压机中的机械、电气设计应符合GB5226.12008的规定。5.1.4 压机的使用电源三相五线制，三相AC380V400V(50/60Hz),单相AC220V240V(50/60Hz)5.1.5 压机的使用外接气源压强3kg/cn?6kgcm2o5.1.6 压机的使用环境温度20oC30.5.1.7 压机的使用环境湿度35%70%RHo5.2 外观5.2.1压机外观应平整光滑、无划痕、无锈蚀。涂镀层应无脱落，色泽应均匀一致。5.2.2各种管路（线路）及警示性标志应符合GB5226.12008中13.2、16.3、16.4的规定。5.3性能5.3.1低合模压力范围980kNl960kN,中介模压力范用980kN3430kN,高合模压力范围980kN4410kN°5.3.2低合模压力压机、中合模压力压机注塑压力范围4.9kN68.6kN,高合模压力压机注塑压力范圉4.9kN98kN。5.3.3模面温度控制精度±5P.5.3.4低、中合模压力精度±1.5%,高合模压力精度±2.5%。5.3.5注塑压力精度±1.5%。5.3.6上固定工作台面与下活动工作台面的平行度不大于0.05mm。5.3.7上注塑杆与上固定工作台面的垂直度（有效行程15Omm范围内）不大于0.05mm。5.4保护功能和安全5.4.1压机应有保证正常操作顺序、避免误动作的安全联锁功能.联锁防护应符合GB5226.1-2008中9.3的规定。具体要求如下：a）压机应设有醒目的安全提醒标志，并设置门控安全联锁开关；b）压机液压系统要有压力限定溢流阀，确保液*系统上限保护；c）压机合模连锁按键应符合GB28241-2012中5.3.16的规定；d）压机应有过载报警和保护功能。5.4.2压机应具有过热保护功能。当模具温度超过设定值时，设备自动报警，并停止工作。5.4.3压机接地应符合GB/T26220-20104.6.3的规定。5.4.4压机防护应符合GB/T262202010中4.6.K4.6.2的规定。5.4.5压机绝缘保护应符合GB/T262202010中4.6.4的规定。5.4.6压机耐电压强度应符合GB/T262202010中4.6.5的规定。1.1.7 压机安装急停按钮操作开关，急停按钮操作开关应符合GB5226.12008中10.7的规定。1.1.8 压机断电后再次来电，必须手动按压电源开关或急停确认开关方可再次启动.5.5 自动功能5.5.1 5.1床机应有合模位置、合模压力、注塑位置、注塑压力、固化时间、注塑时间、I/O状态显示功能。5.5.2 5.2压机报警日志和注塑曲线能自动保存，保存时间不低于3个月。5.5.3 5.3压机应有监控、提示与报警功能。5.5.4 乐机应有合模、加压、注塑、保压、开模、计数功能。5.5.5 压机应具有三段以上注塑位置速度切换功能。5.5.6 压机应具有自动、手动两种模式，生产、清模两种工作循环。5.5.7 压机合模速度、开模速度可调。5.6 噪声设备正常运行时，噪声应不大于70dB（八）.5.7 可靠性压机平均无故障时间（MTBF）不小于168h.5.8 负载运行压机带测试工装连续运行不小于72，6检验方法6.1外观检查用目视方法，对压机的外观进行检查。6.2性能测试6.2.2注塑压模盒内假定值的偏量:平4外M测均值与菰围内，均匀地在并记录温度rf,在上察禾），用6. 2.1合模压力范围测试用测试工具加压插用注塑油6.2.3模面堤度加热好测量点（如图值，对同每个测量乂分别选取2个一个测量上网双假三次温度 :磐*进行对比，图1模具温度测量点分布图6.2.4合模压力精度合模压力使用范围内，使用标准压力表检测，从小到大每间隔49OkN设定合模压力，每组各测定三次，每次测试值均满足5.3.4精度要求。6.2.5注塑压力精度测试注塑压力使用范围内，使用标准压力表检测，从最小到最大每间隔9.8kN设定注塑压力，每组各测定三次，每次测量值均满足5.3.5精度要求。6.2.6 压机上下台面平行度测试压机上下台面平行度精度，软合模位置活动台面浮动状态，用百分表沿着活动台面从AfB-C-D一周检测与上固定台面平行度，测试值均满足5.3.6精度要求（如图2）。图2上下台面平行度检测图6.2.7 上注塑杆垂直度测试上注塑杆注塑行程向下从15Omm300mm行程，注塑杆上下运动，设定A、B、C、D四点测试,测试值均满足5.3.7精度要求（如图3）。图3注塑油缸垂直度检测图6.3保护功能和安全性检查6.3.1不造成人身伤害的条件下，合模向上运行检测安全限位，运行到达安全限位时设备停止。具体方法如下:a)b) c)d)6. 3.2不造成人身伤害的条件下，模拟制造报警条件进行验证，实际操作中安全门检测的安全联锁功能。正常运行条件下，安全门打开，压机运行停止。合上安全门，压机消除报警后恢夏正常运行；目测检查压力限定溢流阀正确安装，通过设定压力来测试安全溢流阀是否起作用；合模联锁按键检测在0.5s内同时按下，设备运行，否则设备无法合模；666666333333345678按 GB/T 262202010 中 5. 6. 3 的规,6.不造成人信息（合合模压力、化时间、注塑己存数据。:塑、保压、换功能。尾试验方案，进行可靠性试验。用 I/O用 模 将:验压机的接地。压机的防护功能。不小于1 MCO态需）配示功aft封压查监控CF急停按钮操作开关,F,模拟压机断电后再次来电，验证功能。呈中，检查压机自动运仃、手动运行:模运行中险条件下，实际操作乐机，检查速度可调.按 GB/T 262202010 中按 GB/T 26220 20按 GB/T 26220不造成人身再次启动压机。6.4自动功f6.4 . 1 时间、 6.4.2 6.4.3 6.4.4 开模、 6.4.5 6. 4.6 6. 4.7计 压机运压机际行不造6.5 噪声测试设备负载运行中1 量噪声声压级（A计权）.6.6 可靠性试验按GB/T 5080. 71986的规定，选定第5提示与报警。压电机开启开关可11. 2 mL 5 m处，测不造成人身伤害的条件下，模拟压力传感器断线进行伺服报警验证，目测伺服控制器报警状态。不造成人身伤害的条件下，模拟合模过程中，安全光栅是否有效，合模过程中安全光栅遮挡后，压机运行自动停止。6.7负载运行试验正常使用条件下，压机带测试工装，按分类规定设定最大合模压力、最大注塑压力，连续运行时间大于72h,检查压机是否出现自身原因引起的停机现象（运行中若发生故障，则运行时间应从故障排除后重新计时）。7检验规则7.1 检验分类集成电路塑封油压机的检验分为出厂检验和型式试验。7.2 出厂检验1 .2.1通则每台产品均应进行出厂检验，检验合格后方可出厂。7 .2.2检验项目出厂检验的检验项l三l应符合表1的规定。表1检验项目序号.项目名称要求章条号检验方法章条号型式检验出厂检验1外观5.26.1.2性能5.36.23保护功能和安全5.46.34自动功能5.56.45噪声5.66.56可靠性5.76.6一7负就运行5.86.78标志8.1一注：表示进行检验的项目；“一”表示不检验项目.7. 2.3合格判定