E84-握手流程(中文版).docx
E84-握手流程（中文版）-标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KIlE84PI/OINTERFACE概要解脱害中文版配布先-CoPYIt-SUM承恐APP作成-DRAWN神檄株式会社Rev日付内容承熬作成000.11.2初版藤原SSG佐野TranslatedbyDonLee/ASTW/TrainingCenter1 背景目的62 E84LE23之不同黠63 限制44 檄器横成65 用明86 控制信虢之槿S67 InterlockTimeout138 通信程序98.1 装载移载98.2 卸载移载119 累常检测129.1 移载勤作始前之昊常129.2 移截勤作中之昊常139.3 巽常移截重力作接之昊常149.4 GO信虢=OFF燮化229.5 昊常之彳复营1510注意事JW1511 ComIeCtOr及各信虢之分配1612 甯路SensorUnit尺寸261 背景目的半醇醴裂造工摩中，因随著晶Bl尺寸之大，戴飕重量增加及裂造工程化，有厚人以AGV/OHTj代表之自勤搬送系统(AMHS)的趣势。AMHS中、裂造装置舆OHV(台聿)藉由使用PhOtOI/O之通信、来取得Load/Unload之同步。此PhotoI/O通信保藉由SEMI规格来定羲、裂造装置及OHV需迤行遵守此规格的通信控制。SEMl规格中、SS定羲E23作:上述PhOtoI/O通信规格、但於99年以E23基本而重新定羲了功能强化之E84、此E84规格有成J主流的超势。本善你官己述E84规格之概要。又，本善之f象保定迤行舆AMHS装置及半醇醴裂造装置之介面相居昌的信殳声十/管理。2 E84E23之不同黠追加/燮更於E84之JM目如下。 WHandoffSequence 同日寺HandoffSequence 追力口HClavbl信虢、ES信虢 Timer之规定 改言丁Connectorpin之分配3 限制本善僮言己述醇人於OHT系统之E84规格。因此、以下项目舆系统不相故予以割爱。,3WHandoff7同BHandoffSequence使用於速HalIdOff之Timer4 横器横成Iffl4.1示本烧格之E84I/OInterface的遹用例。因4.1E84I/O介面例5用精脱明表5.1g示本耆使用之用用解lActive装置具借移载檄横之装置。遵循SEMlE23规格(C)HT系统中、OHVJg於ACtiVe装置。)Passive装置藉由Active装置来迤行移载之装置。遵循SEMIE23规格Passive装置包含加工装置/Stocker等。本善中、PaSSiVe装置保典装置同羲。AMHS装置(=AutomatedMaterialHandlingSystem)具有可在Passive装置搬送载之功能的装置。RGV:RailGuidedVehicles/AGV:AutomatedGuidedVehicles/OHT:OverheadHoistTransports<!f0AutoAccessModeAMHS装置以自S方式迤行Handoff之模式。ManualAccessModeOperator以手S方式迤行Handoff之模式。卡匣BoxPodBOat/FOUP等、用来收藏晶H之箱子。遵循SEMIEI.9规格Handoff表示藉由Active装置封Passive装置迤行装载及卸载之移载勤作。本善中、保典装载/卸载移载同羲。Handoff干涉国域Handoff中Active装置之载艘有可能舆Passive装置之载醴衡突的空Handoff,Interlock累常Handoff中Passive装置检测到昊常之状熊。Active装置之戴飕舆Passive装置之载H、有可能在Handoff干涉IS域衡突衡突。辗法HandOff利用;犬熊Passive装置辗法迤行Handoff之状憨。Loadport加工装置/Stocker等之InterfacePOrto遵循SEMIE15规格Load彳谊Active装置往Passive装置之卸载移戴。Unload优Passive装置往Active装置之装载移戴。6控制信虢之摩使用於E84通信之各信虢的槿如表6.1所示。於通信方向：A=Active装置、P=PaSSive装置。表61信虢之名耦及功用信虢名耦通信方向信号虎之明CS_O(=CarrierStageO)AnP指定使用於戴Handoff之LoadportoON:使用於戴醴Handoff。OFF:不使用。CS_1(=CarrierStage1)AnP指定使用於截tHandoff之LoadportoON：使用於戴醴HandoffoOFF:不使用。XOHT系统中、由於各LoadporU殳置有Photol/0（1Photo!/OZILoadPort）.因此不使用本信虢。VALID(=Indicatesthatthesignaltransitionisactiveandselected.)可以通信AnP表示Active装置OPaSSive装置之通信有效。ON:通信;¾有效。OFF:通信J辗效。Active装置在使本信虢ON之前、需以CS-O信虢或CS-1信虢（或刖者）来指定移戴望寸象之Loadport0XOHT系统中、Ii使用CSj）L_REQ(=LoadRequest)要求装载PnA表示Loadport被指定戴之装戴（Active装置之卸«）OON:Loadport被指定虑T戴之装载OFF:Loadport未被指定卷载醴之装载。由Active装置以CS_O信虢指定Loadport,富VALlD=ON畴、PaSSiVe装置使本信虢ON。Passive装置三S到戴醴被放置到正硅位置之彳叁、即符本信虢OFFoU_REQ(=UnloadRequest)要求卸载PnA表示Loadport被指定戴醴之卸载（Active装置之装«）OON:Loadpoit被指定S之卸载OFF:Loadport未被指定:¾tll之卸载。由Active装置以CS_O信虢指定Loadportx常VALID=ON畤、PaSSiVe装置即符本信虢ON。Passive装置在戴醴被完全取走彳爰、即符本信虢OFFoTR_REQ(=TransferRequest)要求HandoffAnP望寸Passive装置要求HandoffoON:已提出Handoff要求。OFF:未已提出Handoff要求。富BUSY信虢OFF畤、本信虢亦OFF。READY(=ReadyforTransfer)津借HandoffPnA表示Passive装置、已徙Active装置收到TR_REQ信卷ON：Passive装置已做好Handoff之津借。OFF：Passive装置尚未做好HanelOff之举借。富硅Ig到Active装置之TR-REQ=ON彳笈、Passive装置即符本信虢ONo常硅熬到Handoff结束且Active装置之COMPT=ON接、Passive装置即符本信虢OFFoBUSY(=BusyforTransfer)Handoff迤行中A=>P表示Active装置、正迤行Handoff中。ON:正迤行HandOff中。OFF:非迤行Hanck）ff中。Passive装置在READY=ON状憩、可始迤行HandoffH寺、Active装置）符使本信虢ONoHandoff中Passive装置不可迤行任何物理性勤作。SPassive装置招L_REQ（或U_REQ）信虢OFF、IS束Handoff畤、Active装置即揩本信虢OFFo（此畤、把持装置需退出至干涉l三域之外）COMPT(=CompIeteTransfer)Handoff幺吉束A=P表示Active装置已幺吉束Handoff操作。ON:已幺吉束Handoff0OFF:尚未吉束Handoff0常结束Handoff操作畴（Active装置符BUSY信虢OFF）、ACtiVe装置即揩本信虢ON。PaSSiVe装置在硅到READY三OFF彳爰、Active装置即符本信虢OFFoCONT(=ContinuousHandoff)HandoffAnP表示有HandoffoON:表示速Handoff持中。OFF:辗速Handoffo常有速Handoff日寺、根摞最初移载畤Passive装置之BUSY=ONActive装置即符本信虢ON、根摞最彳爰移载畤Passive装置之BUSY二ON、Active装置即符本信虢OFFoXOHT系统中、现在不使用本信虢。HO_AVBL(=HandoffAvaiIable)可HandoffPnA表示Passive装置装置可迤行Handoff0又亦有表示Passive装置存在某槿昇常之情形。ON:可配合Handoff。OFF:存在某槿昊常辗法配合Handoffo本信虢保在IIfi始迤行Handoff操作前、向Active装置表示PaSSiVe装置之状憩。常PaSSiVe装置正常畴、本信虢ONoPassive装置检测到CS_O信虢所指定之LoadPort存在某槿昇常暗、藉由ACtiVe装置符VALID信虢ON或TR_REO信虢ON、Passive装置即揩本信虢OFFo又富横浏侄既亥Passive装置之其他Loadport有昇常畤、本信虢亦可能OFF。所常保指熊正硅地迤行载Ii椀测。Passive装置一直停留於ManUaIModeoPassive装置辗法配合Handoff之状憨。ES(二EmergencyStop)聚急停止PnA保要求聚急停止Active装置之勤作。ON:正常操作OFF：要求聚急停止Passive装置判危尤兄畤、立即停止Handoff而符本信虢OFFo所危（尤兄保指恐及资源或裂造物畴。封作渠工程曾造成害之情形。赞生Handoff-Interlock巽常之情形O常按下Passive装置俱IJ之ES（或EMO）按B寺。通常、ACtiVe装置在VALlDONOFF之本信珑O7InterlockTimeoutACtiVe装置但IJ之Timer(TA=TimerofActiveequipment)及PaSSiVe装置假IJ之Timer(TP=TimerofPassiveequipment)如表7.1及表7.2所示。各Timer、保以椀测装载/卸载H寺Interlock之昇常J目的。TimerTimer之期Gffl（秒）覆音殳值（秒）TA1
