EL图片分析.docx

E1.图片分析E1.测试分类（1、正常片2、滴源片分析）片片4、原睢片问题（黑3、单晶黑黑圆弧边）黑心片和多多晶缺陷片5、扩散后刻蚀放反片6、履带En7、印（网状和扩散方阻偏和支点型）偏大998、断线99、边缘过刻11、10、隐裂边缘玷污污漏电13、12、穿孔未扩散片EE1.图14、主栅15、副栅栅漏电（反栅漏电（反向测试）向测试）16、17、丝网印18、氮化多晶晶界海印刷:道返化硅膜摩擦漏电返工擦拭片擦痕漏电上图由图颜色20、印图为小断栅片图可知，两根色较浅，一根印刷断栅后片及其E1.照片根主栅之外的根细栅线上同19、未刻后补断栅效果片，发黑位置小断棚致使断同时有两个小刻蚀干净或边果，补断栅2211置置1-8均为小断断栅至边缘位断栅，且均在边缘浆料造栅后发黑情1、正面断后发黑情1、正面断栅断栅，照片上位置全黑。两在两根主栅线造成的边缘况会减轻。栅上不是很清楚两根主栅之间线之间，导致PPN结导通（电流得到楚。4、5为一间的细栅线上致两点之间全到有效的导一根细栅线上上的小断栅导全黑。导通）上的两个小断导致部分发黑断栅。黑，且各种异样解决方法